أحدث حالة الشركة حول Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. الشهادات

نظرة عامة على الصناعة والتطبيق

تعتمد أدوات حفر وترسيب البلازما لأشباه الموصلات على الختم الدقيق للفراغ عند أبواب الغرفة، ومداخل الغاز، ومنافذ العرض، وتجميعات الأقطاب الكهربائية. في هذه البيئات تتعرض مادة الختم للبلازما التفاعلية وغازات الهالوجين ودرجة الحرارة المرتفعة والفراغ العميق. يمكن لأي مركب عضوي متطاير يطلقه المطاط الصناعي - المعروف باسم إطلاق الغازات - أن يتكثف على الرقائق أو البصريات ويسبب عيوبًا تقلل بشكل مباشر من الإنتاجية. وبالتالي فإن اختيار الختم يعد قرارًا هندسيًا حاسمًا، وليس شراء سلعة.

توفر شركة Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. حلقات دائرية من السيليكون منخفضة إطلاق الغازات وعالية النقاء وأختام مخصصة لصانعي معدات أشباه الموصلات ومهندسي العمليات.

التحدي الهندسي ونقاط الألم

هناك حاجة إلى أداة تكامل معدات تصنيع الرقاقات لاستبدال الأختام المستوردة على باب غرفة الحفر. وأظهرت البيانات الميدانية فقدان المحصول المرتبط بعمر الفقمة. تسببت الأجزاء الموجودة في:

• التلوث بالغازات:تتكثف السيلوكسانات المتطايرة على أسطح الحجرة والرقائق، مما يزيد من كثافة الخلل.
• الهجوم الكيميائي:تنتفخ الأختام وتتشقق عند تعرضها لكيمياء البلازما المعتمدة على الفلور والكلور.
• فترات زمنية طويلة:استغرقت الأختام المستوردة منخفضة إطلاق الغازات من 8 إلى 10 أسابيع، مما أدى إلى إبطاء صيانة الأداة.
• جودة غير متناسقة:أثرت صلابة الدفعة إلى الدفعة وتباين الأبعاد على موثوقية الختم.

Yunze سيليكون الحل المخصص واختيار المواد

قامت Yunze بتطوير مركب سيليكون عالي النقاء بعد المعالجة تم تصميمه لتقليل إطلاق المواد المتطايرة إلى الحد الأدنى، ثم تم التحقق من صحته مقابل البلازما والملامح الحرارية للعميل.

• سيليكون معالج بالبلاتين مع معالجة لاحقة متعددة المراحل للتخلص من المواد المتطايرة المتبقية.
• انخفاض إطلاق الغازات، وفقدان الكتلة الإجمالي (TML)، والمواد المجمعة المتطايرة القابلة للتكثيف (CVCM).
• تم ضبط الضغط على أقل من 15% عند 200 درجة مئوية لمدة 22 ساعة من أجل إحكام الغلق بالتفريغ بشكل موثوق.
• صب الغرفة النظيفة والتعامل معها للتحكم في التلوث بالجسيمات والأيونات.
• المقاطع العرضية والأحجام المخصصة المطابقة لأخاديد الأبواب والمنافذ غير القياسية.

المواصفات الفنية

نتائج وفوائد الأداء الكمي

• تم تقليل كثافة عيوب الرقاقة المرتبطة بإغلاق إطلاق الغازات بنسبة 38% بعد التغيير.
• تم تمديد الفاصل الزمني لخدمة الختم من 3 أشهر إلى 6 أشهر - تحسن بمقدار 2x.
• خفض المهلة الزمنية من 8-10 أسابيع (مستوردة) إلى 2-3 أسابيع للطلبات المتكررة.
• يتم الاحتفاظ بتباين الصلابة من دفعة إلى دفعة ضمن ± 3 Shore A لضمان الختم المتسق.
• أدى العرض المحلي إلى خفض مخزون المخزون والتكلفة الإجمالية للملكية.

الأسئلة الشائعة الفنية

س: ماذا يعني انخفاض إطلاق الغازات لختم أشباه الموصلات؟
ج: هذا يعني أن المطاط الصناعي يطلق كمية قليلة جدًا من المواد المتطايرة تحت الفراغ والحرارة، وبالتالي يتكثف عدد أقل من الملوثات على الرقائق وأسطح الحجرة. نقوم بالإبلاغ عن قيم TML وCVCM حتى تتمكن من تأهيل الجزء.

س: هل يمكن للسيليكون أن ينجو من كيمياء البلازما؟
ج: أداء السيليكون جيدًا في العديد من مواقع الغرف؛ بالنسبة لبلازما الهالوجين الأكثر عدوانية، ننصح باستخدام مركب محدد أو خيار مصاحب من المطاط البيرفلوروفيل. شارك مزيج الغاز الخاص بك وسوف يوصي Yunze بأفضل المواد.

س: هل تقوم بتصنيع هذه الحلقات في غرفة نظيفة؟
ج: نعم. يتم تشكيل الأختام منخفضة إطلاق الغازات والتعامل معها في بيئة خاضعة للرقابة للحد من التلوث بالجسيمات والأيونات، مع إمكانية تتبع الدفعات.

الاستشارات الهندسية وطلب العينات

قم بحماية إنتاج الرقاقة الخاصة بك بختم مؤهل لغرفتك. أرسل أبعاد الأخدود وكيمياء الغاز ومواصفات الفراغ إلى شركة Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd.، وسوف يقترح مهندسونا مركبًا منخفض إطلاق الغازات ويقدمون عينات للتأهيل.