Hakkında en son şirket vakası Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. Sertifikalar

Endüstri ve Uygulama Genel Görünümü

Yarım iletken plazma kazım ve deppozisyon araçları, oda kapılarında, gaz girişlerinde, manzaralarda ve elektrot montajlarında hassas vakum mühürlenmesine dayanır.Bu ortamlarda mühür malzemesi reaktif plazmalara maruz kalır., halogen gazları, yüksek sıcaklık ve derin vakum.Elastomer tarafından salınan herhangi bir uçucu organik bileşik - dış gazlama olarak bilinir - vafelere veya optiklere yoğunlaşabilir ve verimi doğrudan azaltan kusurlara neden olabilirDolayısıyla mühür seçimi, bir emtia satın alma değil, kritik bir mühendislik kararıdır.

Dongguan Yunze Silikon Ürünleri Co., Ltd. düşük çıkış gazı, yüksek saflıklı silikon O halkaları ve özel mühürleri yarı iletken ekipman üreticilerine ve süreç mühendislerine tedarik eder.

Mühendislik Zorluğu ve Ağrı Noktaları

Bir wafer-fab ekipman entegratörü, bir kazma odası kapısında ithal mühürleri değiştirmek için gerekiyordu. Alan verileri, mühür yaşıyla ilişkili verim kaybı gösterdi. Mevcut parçalar:

• Gaz dışı kirlenme:Uçucu siloxanlar oda yüzeylerinde ve waferlerde yoğunlaşarak kusur yoğunluğunu arttırır.
• Kimyasal saldırı:Flüor ve klor bazlı plazma kimyasallarına maruz kaldıklarında şişmiş ve çatlamış mühürler.
• Uzun teslim süreleri:İthalat edilen düşük emisyonlu mühürler 8-10 hafta sürdü, alet bakımını yavaşlattı.
• Birbiriyle bağdaşmayan kalite:partiden partiye sertlik ve boyut değişikliği mühür güvenilirliğini etkiledi.

Yunze Silikon Özel Çözüm & Malzeme Seçimi

Yunze, en az uçucu salınım için tasarlanmış yüksek saflıklı bir silikon bileşiği geliştirdi ve daha sonra müşteri plazma ve termal profiline karşı doğruladı.

• Platin kalınlaştırılmış silikon, kalıntı uçucuları uzaklaştırmak için çok aşamalı bir kalınlaştırma ile.
• Düşük çıkış gazı, kontrollü Toplam Kütle Kaybı (TML) ve Toplanan Uçucu Kondensasyonlu Malzemeler (CVCM).
• Güvenilir vakum mühürlenmesi için 200 °C'de 22 saat boyunca %15'in altında basınç ayarlanması.
• Parçacık ve iyonik kirliliği kontrol etmek için temiz oda kalıp ve işleme.
• Standart olmayan kapı ve port oluklarına eşleşen özel kesimler ve boyutlar.

Teknik özellikler

Ölçülebilir Performans Sonuçları ve Faydaları

• Geçişten sonra mühür çıkışına bağlı vafeler kusur yoğunluğu % 38 azalmıştır.
• Mühür servis aralığı 3 aydan 6 aya kadar uzatıldı - 2 kat daha iyi.
• Yükleme süresi 8-10 haftadan (ihracat) tekrar siparişler için 2-3 haftaya düşürüldü.
• Sürekli mühürlenme için partiden partiye sertlik değişimi ± 3 Shore A içinde tutulur.
• Yerel tedarik stok tamponunu ve toplam mülkiyet maliyetini düşürdü.

Teknik Sık Sorulan Sorular

S: Yarım iletken mühürleme için düşük çıkış ne anlama gelir?
A: Bu, elastomerin vakum ve ısı altında çok az uçucu madde saldığı anlamına gelir, bu yüzden daha az kirleticiler levhalarda ve oda yüzeylerinde yoğunlaşır.TML ve CVCM değerlerini rapor ediyoruz, böylece parçanın niteliğini belirleyebilirsiniz..

S: Silikon plazma kazım kimyasalından kurtulabilir mi?
Cevap: Silikon birçok oda konumunda iyi çalışır; en agresif halogen plazmalar için belirli bir bileşik veya bir arkadaş perfluoroelastomer seçeneği öneririz.Gaz karışımınızı paylaşın ve Yunze en iyi malzemeyi önerecek..

S: Bu O-ringleri temiz oda kalıbı mı yapıyorsunuz?
A: Evet. Düşük emisyonlu mühürler parçacık ve iyon kirliliğini sınırlamak için kontrol edilmiş bir ortamda kalıplandırılır ve yığın izlenebilirliği ile işlenir.

Mühendislik Danışmanlığı ve Örnek İsteği

Çukur boyutlarınızı, gaz kimyasını ve vakum özelliklerinizi Dongguan Yunze Silikon Ürünleri Şirketi'ne gönderin.Ve mühendislerimiz düşük emisyonlu bir bileşik önerecek ve yeterlilik için numuneler sağlayacaktır..