Trường hợp công ty mới nhất về Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. Giấy chứng nhận

Tổng quan về ngành công nghiệp và ứng dụng

Các công cụ khắc plasma và lắng đọng bán dẫn dựa trên niêm phong chân không chính xác tại cửa buồng, lối vào khí, khung ngắm và bộ điện cực.Trong môi trường này, vật liệu niêm phong được tiếp xúc với plasma phản ứng, khí halogen, nhiệt độ cao và chân không sâu.Bất kỳ hợp chất hữu cơ dễ bay hơi nào được giải phóng bởi elastomer - được gọi là khí thải ra - có thể ngưng tụ trên các wafer hoặc quang học và gây ra các khiếm khuyết trực tiếp làm giảm năng suấtDo đó, việc lựa chọn con dấu là một quyết định kỹ thuật quan trọng, chứ không phải là mua hàng hóa.

Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. cung cấp O-ring silicon tinh khiết cao và niêm phong tùy chỉnh cho các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn và kỹ sư quy trình.

Thách thức kỹ thuật và điểm đau

Một bộ tích hợp thiết bị wafer-fab cần phải thay thế các con dấu nhập khẩu trên cửa phòng khắc. Dữ liệu thực địa cho thấy sự mất năng suất tương quan với tuổi con dấu. Các bộ phận hiện có gây ra:

• Ô nhiễm khí thải:siloxan dễ bay hơi ngưng tụ trên bề mặt buồng và wafer, làm tăng mật độ khiếm khuyết.
• Vụ tấn công hóa học:Các niêm phong bị sưng và nứt khi tiếp xúc với hóa chất plasma dựa trên fluor và clo.
• Thời gian giao hàng dài:Các con dấu khí thải thấp nhập khẩu mất 8-10 tuần, làm chậm bảo trì công cụ.
• Chất lượng không nhất quán:độ cứng của lô và sự thay đổi kích thước ảnh hưởng đến độ tin cậy của con dấu.

Giải pháp tùy chỉnh silicone Yunze & Chọn vật liệu

Yunze đã phát triển một hợp chất silicon tinh khiết cao sau khi chữa trị, được thiết kế để giải phóng khí dễ bay hơi tối thiểu, sau đó xác nhận nó so với plasma và hồ sơ nhiệt của khách hàng.

• Silikon cứng bằng bạch kim với nhiều giai đoạn sau chữa để loại bỏ các chất dễ bay hơi còn lại.
• Khí thải thấp, mất tổng khối lượng được kiểm soát (TML) và vật liệu có thể ngưng tụ dễ bay hơi được thu thập (CVCM).
• Cài đặt nén dưới 15% ở 200 °C trong 22 giờ để niêm phong chân không đáng tin cậy.
• Lắp đặt và xử lý phòng sạch để kiểm soát ô nhiễm hạt và ion.
• Phần cắt ngang và kích thước tùy chỉnh phù hợp với các rãnh cửa và cổng không chuẩn.

Thông số kỹ thuật

Kết quả và lợi ích hiệu suất định lượng

• Mật độ khiếm khuyết wafer liên quan đến khí thải niêm phong giảm 38% sau khi chuyển đổi.
• Khoảng thời gian phục vụ con dấu được kéo dài từ 3 tháng lên 6 tháng - cải thiện 2 lần.
• Thời gian giao hàng giảm từ 8-10 tuần (nhập khẩu) xuống còn 2-3 tuần cho các đơn đặt hàng lặp lại.
• Sự thay đổi độ cứng từ lô đến lô được giữ trong phạm vi ± 3 Shore A để có sự niêm phong nhất quán.
• Cung cấp địa phương giảm đệm hàng tồn kho và tổng chi phí sở hữu.

Câu hỏi thường gặp kỹ thuật

Q: Điều gì có nghĩa là khí thải thấp cho một con dấu bán dẫn?
A: Điều đó có nghĩa là elastomer giải phóng rất ít vật liệu dễ bay hơi dưới chân không và nhiệt, vì vậy ít chất gây ô nhiễm ngưng tụ trên các tấm và bề mặt buồng.Chúng tôi báo cáo TML và CVCM giá trị để bạn có thể đủ điều kiện các bộ phận.

Hỏi: Silikon có thể sống sót qua hóa học khắc plasma không?
A: Silicone hoạt động tốt ở nhiều vị trí buồng; Đối với plasma halogen hung hăng nhất, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng hợp chất cụ thể hoặc lựa chọn perfluoroelastomer đồng hành.Chia sẻ hỗn hợp khí của bạn và Yunze sẽ đề nghị các vật liệu tốt nhất.

Hỏi: Bạn có thợ đúc O-ring không?
Đáp: Có. Các niêm phong khí thải thấp được đúc và xử lý trong môi trường được kiểm soát để hạn chế ô nhiễm hạt và ion, với khả năng truy xuất lại lô.

Tư vấn kỹ thuật và yêu cầu mẫu

Bảo vệ sản lượng wafer của bạn với một con dấu đủ điều kiện cho buồng của bạn. gửi kích thước rãnh của bạn, hóa học khí và thông số kỹ thuật chân không cho Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd.,và các kỹ sư của chúng tôi sẽ đề xuất một hợp chất khí thải thấp và cung cấp các mẫu để đủ điều kiện.