logo
Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd.
ผลิตภัณฑ์
พูดคุยกันตอนนี้
บ้าน >

ล่าสุด บริษัท กรณีเกี่ยวกับ Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. การรับรอง

โอริงซิลิโคนปล่อยก๊าซต่ำสำหรับห้องแกะสลักเซมิคอนดักเตอร์

2026-10-11

ล่าสุด บริษัท กรณีเกี่ยวกับ โอริงซิลิโคนปล่อยก๊าซต่ำสำหรับห้องแกะสลักเซมิคอนดักเตอร์

ภาพรวมอุตสาหกรรมและการใช้งาน

อุปกรณ์ถักและถักพลาสมาครึ่งตัวพึ่งพาการปิดระยะว่างที่แม่นยําที่ประตูห้อง, ทางเข้าก๊าซ, ช่องชมภาพและการประกอบอิเล็กทรอนด์ในสภาพแวดล้อมเหล่านี้ วัสดุประปาถูกเผชิญกับพลาสมาที่มีปฏิกิริยา, ก๊าซฮาโลเจน, อุณหภูมิที่สูงขึ้นและความว่างลึกสารประกอบออร์แกนิคล่องลอยใด ๆ ที่ปล่อยออกมาจากเอลาสโตเมอร์ - ที่รู้จักกันในชื่อ outgassing - สามารถบดลงบนโวฟเฟอร์หรือออทติกส์และทําให้เกิดอาการบกพร่องที่ลดผลผลิตโดยตรงดังนั้น การคัดเลือกตราจึงเป็นการตัดสินใจด้านวิศวกรรมที่สําคัญ ไม่ใช่การซื้อสินค้า

Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. จําหน่าย O-ring สีซิลิโคนความบริสุทธิ์สูงที่มีการออกแก๊สต่ํา และผนึกที่กําหนดเองให้กับผู้ผลิตอุปกรณ์ครึ่งตัวนําและวิศวกรกระบวนการ

ความท้าทายทางวิศวกรรม และจุดเจ็บปวด

เครื่องบูรณาการอุปกรณ์ผลิตแผ่นขีดขนาบจําเป็นต้องเปลี่ยนปริมณฑลที่นําเข้าบนประตูห้องถัก. ข้อมูลสนามแสดงว่าการสูญเสียผลผลิตที่เกี่ยวข้องกับอายุของปริมณฑล. ส่วนที่ติดตั้งทําให้:

  • การปนเปื้อนจากก๊าซ:ไซโลคซานระเหยที่ดันบนพื้นผิวห้องและโวฟเฟอร์ เพิ่มความหนาแน่นของความบกพร่อง
  • การโจมตีทางเคมีปริมณฑลบวมและแตกเมื่อถูกเผชิญกับสารเคมีในพลาสมาที่ใช้ฟลอรินและคลอริน
  • ระยะเวลาการดําเนินงานยาว:การปรับปรุงอุปกรณ์ใช้เวลา 8-10 สัปดาห์
  • คุณภาพไม่ตรงกันความแข็งของชุดต่อชุดและความแตกต่างของมิติส่งผลกระทบต่อความน่าเชื่อถือของรัด

Yunze ซิลิโคน การแก้ไขตามสั่งและการเลือกวัสดุ

ยุนเซ่พัฒนาสารสับสนของซิลิโคนความบริสุทธิ์สูงหลังการรักษา เพื่อการปล่อยสารระเหยอย่างน้อย แล้วตรวจสอบมันกับพลาสมาและโปรไฟล์ความร้อนของลูกค้า

  • ซิลิโคนที่มีการรักษาด้วยพลาตินัม ด้วยการรักษาหลังหลายขั้นตอน เพื่อขับไล่สารลุกที่เหลือ
  • การออกก๊าซที่ต่ํา, การควบคุมการสูญเสียมวลรวม (TML) และการรวบรวมวัสดุที่ระเหยได้ (CVCM)
  • การตั้งค่าการบดต่ํากว่า 15% ในอุณหภูมิ 200 °C เป็นเวลา 22 ชั่วโมงเพื่อให้มีความน่าเชื่อถือในการปิดระยะว่าง
  • การพิมพ์และการจัดการห้องสะอาด เพื่อควบคุมการปนเปื้อนของอนุภาคและยอน
  • ผ่าตัดและขนาดตามสั่งที่ตรงกับประตูและช่องประตูที่ไม่ใช่มาตรฐาน

รายละเอียดเทคนิค

ปริมาตรรายละเอียด
วัสดุซิลิโคนเพลตินัมหลังการรักษา (VMQ)
ความแข็ง50 ± 5 ด้านฝั่ง A / 70 ± 5 ด้านฝั่ง A
อุณหภูมิการใช้งาน-60 °C ถึง +220 °C
TML (สูญเสียมวลรวม)≤ 1.0 % (ประเภทธรรมเนียมต่ํากว่า)
CVCM (Collected Volatiles)≤ 0.10 %
ชุดการบด (22 ชั่วโมง / 200 °C)≤ 15 %
ความเหมาะสมกับระยะว่างเหมาะสําหรับการใช้งานในระดับความว่างสูง
ระยะการตัด1.5 mm ถึง 10 mm (ตามสั่ง)
อนุภาค / ความสะอาดโปรแกรมทําความสะอาด, อนุภาคต่ํา
สีสีขาว ใส

ผลการประกอบการและผลประโยชน์ที่ระบุเป็นจํานวน

  • ความหนาแน่นของความบกพร่องของแผ่นผงที่เกี่ยวข้องกับการออกน้ํามันจากปริมณฑลลดลง 38% หลังจากเปลี่ยน
  • ระยะเวลาการบริการของซีลขยายจาก 3 เดือนเป็น 6 เดือน - การปรับปรุง 2 เท่า
  • ระยะเวลาการดําเนินการลดจาก 8-10 สัปดาห์ (นําเข้า) เป็น 2-3 สัปดาห์สําหรับการสั่งซ้ํา
  • ความแตกต่างของความแข็งของชุดต่อชุดที่ถือไว้ภายใน ± 3 Shore A เพื่อการปิดอย่างคง
  • จําหน่ายในท้องถิ่นลดปั๊มคลังสินค้า และค่าบริการรวม

คําถามเชิงเทคนิค

ถาม: การออกก๊าซน้อยมีความหมายอย่างไรสําหรับเครื่องประปาครึ่งประสาท?
ตอบ: มันหมายความว่าเอลาสโตเมอร์ปล่อยสารลอยน้อยมาก ภายใต้ความว่างและความร้อน ดังนั้นสารปนเปื้อนน้อยลงลงบนแผ่นและพื้นผิวห้องเรารายงานค่า TML และ CVCM เพื่อให้คุณสามารถประเมินความเหมาะสมของส่วน.

ถาม: ซิลิโคนสามารถอยู่รอดได้ไหม?
ตอบ: ซิลิโคนทํางานได้ดีในหลายสถานที่ห้อง; สําหรับพลาสมาฮาโลเจนที่รุนแรงที่สุด เราแนะนําผสมเฉพาะหรือตัวเลือก perfluoroelastomer คู่.แบ่งปันก๊าซของคุณ และยูนเซ่จะแนะนําวัสดุที่ดีที่สุด.

ถาม: คุณทําเครื่องปั้นออเรนด์นี้ด้วยห้องสะอาดไหม?
ตอบ: ครับ ปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริมปริม

การปรึกษาด้านวิศวกรรม และการขอตัวอย่าง

ป้องกันผลผลิตของกระเป๋าด้วยการปิดที่เหมาะสมสําหรับห้องของคุณ ส่งขนาดของช่อง, ก๊าซเคมีและความละเอียดความว่างของคุณไปยัง Dongguan Yunze ซิลิโคนผลิตภัณฑ์ จํากัดและนักวิศวกรของเราจะเสนอ สารประกอบที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และให้ตัวอย่างสําหรับการคุณสมบัติ.