最新の企業事例について Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. 認定

業界とアプリケーションの概要

半導体プラズマエッチングおよび成膜装置は、チャンバードア、ガスインレット、ビューポート、電極アセンブリにおける精密な真空シールに依存しています。これらの環境では、シール材は反応性プラズマ、ハロゲンガス、高温、および深真空にさらされます。エラストマーから放出される揮発性有機化合物（アウトガスとして知られる）は、ウェハーや光学部品に凝縮し、歩留まりを直接低下させる欠陥を引き起こす可能性があります。したがって、シールの選択は、コモディティの購入ではなく、重要なエンジニアリング上の決定となります。

東莞雲沢シリコーン製品有限公司は、半導体装置メーカーおよびプロセスエンジニアに、低アウトガス、高純度シリコーンOリングおよびカスタムシールを供給しています。

エンジニアリングの課題とペインポイント

ウェハーファブ装置インテグレーターは、エッチングチャンバーのドアにある輸入シールを交換する必要がありました。フィールドデータによると、歩留まりの低下はシールの経年劣化と相関していました。既存の部品は以下を引き起こしていました。

• アウトガスによる汚染:揮発性シロキサンがチャンバー表面やウェハーに凝縮し、欠陥密度を上昇させました。
• 化学的攻撃:フッ素および塩素ベースのプラズマ化学物質にさらされると、シールが膨張して亀裂が入りました。
• 長いリードタイム:輸入された低アウトガスシールは8〜10週間かかり、装置のメンテナンスを遅らせました。
• 一貫性のない品質:バッチごとの硬度と寸法のばらつきがシールの信頼性に影響しました。

雲沢シリコーンカスタムソリューションと材料選択

雲沢は、揮発性物質の放出を最小限に抑えるように設計されたポストキュアされた高純度シリコーンコンパウンドを開発し、顧客のプラズマおよび熱プロファイルに対して検証しました。

• 残留揮発性物質を除去するための多段階ポストキュアを備えたプラチナ硬化シリコーン。
• 低アウトガス、制御された総質量損失（TML）および収集された揮発性凝縮性物質（CVCM）。
• 信頼性の高い真空シールを実現するため、200℃で22時間で15％未満の圧縮永久ひずみ。
• 粒子およびイオン汚染を制御するためのクリーンルーム成形および取り扱い。
• 非標準のドアおよびポート溝に合わせたカスタム断面およびサイズ。

技術仕様

定量化されたパフォーマンス結果とメリット

• シールのアウトガスに関連するウェハー欠陥密度が、切り替え後に38％削減されました。
• シールのサービス間隔が3ヶ月から6ヶ月に延長され、2倍の改善。
• リードタイムが8〜10週間（輸入）から2〜3週間（リピート注文）に短縮されました。
• バッチごとの硬度ばらつきが±3ショアA以内に抑えられ、一貫したシーリングを実現。
• ローカル供給により、在庫バッファーと総所有コストが削減されました。

技術FAQ

Q: 半導体シールにおける低アウトガスとはどういう意味ですか？
A: 真空および熱下で揮発性物質の放出が非常に少ないことを意味するため、ウェハーやチャンバー表面への汚染物質の凝縮が少なくなります。部品を評価できるように、TMLおよびCVCM値を報告します。

Q: シリコーンはプラズマエッチング化学に耐えられますか？
A: シリコーンは多くのチャンバー位置で良好な性能を発揮します。最も過酷なハロゲンプラズマについては、特定のコンパウンドまたは対応するパーフルオロエラストマーオプションをお勧めします。ガス混合を共有していただければ、雲沢が最適な材料を推奨します。

Q: これらのOリングはクリーンルームで成形していますか？
A: はい。低アウトガスシールは、粒子およびイオン汚染を制限するために、管理された環境で成形および取り扱われ、バッチトレーサビリティを備えています。

エンジニアリングコンサルテーションとサンプルリクエスト

チャンバー用に認定されたシールでウェハーの歩留まりを保護してください。溝の寸法、ガス化学、および真空仕様を東莞雲沢シリコーン製品有限公司に送信してください。当社のエンジニアが低アウトガスコンパウンドを提案し、評価用のサンプルを提供します。