Последний кейс компании Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. Сертификаты

Обзор отрасли и применения

Полупроводниковые плазменные резьбовые и осадочные инструменты полагаются на точную вакуумную герметичность в дверях камеры, газовых входах, витринах и электродных сборах.В этих условиях материал уплотнения подвергается воздействию реактивной плазмы., галогены, повышенная температура и глубокий вакуум.Любое летучее органическое соединение, выделяемое эластомером, может конденсироваться на пластиках или оптике и вызывать дефекты, которые напрямую снижают урожайностьТаким образом, выбор тюленей является критическим инженерным решением, а не покупкой товара.

Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. поставляет высокочистые силиконовые O-кольца с низким выбросом газов и специальные уплотнения производителям полупроводникового оборудования и инженерам процессов.

Инженерные проблемы и проблемы

Для замены импортированных уплотнений на двери камер для офорта необходимо было использовать интегратор для оборудования для производства пластиковых пластинок.

• Загрязнение от газов:летучие силоксаны, конденсирующиеся на поверхностях камер и пластинках, повышающие плотность дефектов.
• Химическая атака:уплотнения опухли и треснули при воздействии плазменных химических веществ на основе фтора и хлора.
• Длинные сроки:Импортируемые герметичность с низким уровнем выбросов потребовалась 8-10 недель, замедление обслуживания инструмента.
• Несоответствующее качество:твердость от партии к партии и изменение размеров влияют на надежность уплотнения.

Юнзе Силиконовый индивидуальное решение и выбор материала

Юнзе разработал высокочистое силиконовое соединение, предназначенное для минимального выпуска летучих веществ, а затем проверил его по плазме и тепловому профилю клиента.

• Платиновый силикон с многоступенчатым послезаживлением для удаления остатков летучих веществ.
• Низкий выброс газов, контролируемая общая потеря массы (TML) и собранные летучие конденсационные материалы (CVCM).
• Установка сжатия ниже 15% при температуре 200 °C в течение 22 часов для надежной вакуумной герметизации.
• Формирование и обработка в чистой комнате для контроля загрязнения частицами и ионами.
• Специальные поперечные сечения и размеры, соответствующие нестандартным дверным и портовым канавкам.

Технические спецификации

Количественные результаты и выгоды

• Плотность дефектов пластинки, связанная с выбросом газов из уплотнения, снизилась на 38% после перехода.
• Период обслуживания тюленей увеличился с 3 до 6 месяцев - это вдвое больше.
• Время выполнения заказов сократилось с 8-10 недель (при импорте) до 2-3 недель для повторных заказов.
• Изменение твердости от партии к партии должно быть сохранено в пределах ± 3 Shore A для постоянной герметизации.
• Местное снабжение снижает запасный буфер и общую стоимость владения.

Технические FAQ

Вопрос: Что означает низкий выброс газов для полупроводниковой уплотнители?
Это означает, что эластомер выделяет очень мало летучих веществ под вакуумом и теплом, поэтому меньше загрязняющих веществ конденсируется на пластинах и поверхностях камеры.Мы сообщаем значения TML и CVCM, чтобы вы могли квалифицировать часть.

Вопрос: Может ли силикон выжить в химическом процессе плазменного гравирования?
О: Силикон хорошо работает во многих местах камеры; для наиболее агрессивной галогенной плазмы мы рекомендуем использовать конкретное соединение или сопутствующий перфлуороэластомер.Поделитесь своим газовым миксом, и Юнзе порекомендует лучший материал..

Вопрос: Вы делаете эти кольца в чистой комнате?
Ответ: Да, уплотнители с низким уровнем выбросов обрабатываются и обрабатываются в контролируемой среде для ограничения загрязнения частицами и ионами, с отслеживаемостью партии.

Инженерная консультация и запрос образцов

Защитите свой вафли с уплотнением, подходящим для вашей камеры.и наши инженеры предложат соединение с низким уровнем выбросов газов и предоставить образцы для квалификации.