Τελευταία εταιρική υπόθεση για Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. Πιστοποιήσεις

Επισκόπηση Βιομηχανίας & Εφαρμογών

Τα εργαλεία πλάσματος χάραξης και εναπόθεσης ημιαγωγών βασίζονται σε ακριβείς στεγανοποιήσεις κενού στις πόρτες θαλάμου, τις εισόδους αερίου, τα παράθυρα θέασης και τις διατάξεις ηλεκτροδίων. Σε αυτά τα περιβάλλοντα, το υλικό στεγανοποίησης εκτίθεται σε αντιδραστικά πλάσματα, αλογονωμένα αέρια, αυξημένη θερμοκρασία και βαθύ κενό. Οποιαδήποτε πτητική οργανική ένωση απελευθερώνεται από το ελαστομερές - γνωστή ως εκπομπή αερίων - μπορεί να συμπυκνωθεί σε γκοφρέτες ή οπτικά και να προκαλέσει ελαττώματα που μειώνουν άμεσα την απόδοση. Η επιλογή στεγανοποίησης είναι επομένως μια κρίσιμη μηχανική απόφαση, όχι μια εμπορική αγορά.

Η Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. προμηθεύει δακτυλίους O από σιλικόνη χαμηλής εκπομπής αερίων, υψηλής καθαρότητας και προσαρμοσμένες στεγανοποιήσεις σε κατασκευαστές εξοπλισμού ημιαγωγών και μηχανικούς διεργασιών.

Μηχανική Πρόκληση & Σημεία Πόνου

Ένας ολοκληρωτής εξοπλισμού wafer-fab χρειαζόταν να αντικαταστήσει εισαγόμενες στεγανοποιήσεις σε μια πόρτα θαλάμου χάραξης. Τα δεδομένα πεδίου έδειξαν απώλεια απόδοσης που συσχετίστηκε με την ηλικία της στεγανοποίησης. Τα υπάρχοντα εξαρτήματα προκάλεσαν:

• Μόλυνση από εκπομπή αερίων: πτητικές σιλοξάνες συμπυκνώθηκαν στις επιφάνειες του θαλάμου και στις γκοφρέτες, αυξάνοντας την πυκνότητα ελαττωμάτων.
• Χημική επίθεση: οι στεγανοποιήσεις διογκώθηκαν και ράγισαν όταν εκτέθηκαν σε χημικές διεργασίες πλάσματος με βάση φθόριο και χλώριο.
• Μεγάλοι χρόνοι παράδοσης: οι εισαγόμενες στεγανοποιήσεις χαμηλής εκπομπής αερίων χρειάζονταν 8-10 εβδομάδες, επιβραδύνοντας τη συντήρηση του εργαλείου.
• Ασυνεπής ποιότητα: η σκληρότητα και η διαστατική μεταβολή από παρτίδα σε παρτίδα επηρέασαν την αξιοπιστία της στεγανοποίησης.

Προσαρμοσμένη Λύση & Επιλογή Υλικού από τη Yunze Silicone

Η Yunze ανέπτυξε μια μετα-σκληρυμένη, υψηλής καθαρότητας σύνθεση σιλικόνης μηχανικής για ελάχιστη απελευθέρωση πτητικών ουσιών, και στη συνέχεια την επικύρωσε έναντι του προφίλ πλάσματος και θερμικής του πελάτη.

• Σιλικόνη σκληρυμένη με πλατίνα με πολυσταδιακή μετα-σκλήρυνση για την απομάκρυνση των υπολειμματικών πτητικών ουσιών.
• Χαμηλή εκπομπή αερίων, ελεγχόμενη Συνολική Μάζα Απώλειας (TML) και Συλλεγόμενες Πτητικές Συμπυκνώσιμες Ουσίες (CVCM).
• Συμπίεση κάτω από 15 % στους 200 °C για 22 ώρες για αξιόπιστη στεγανοποίηση κενού.
• Μηχανική σε καθαρό δωμάτιο και χειρισμός για τον έλεγχο της μόλυνσης από σωματίδια και ιόντα.
• Προσαρμοσμένες εγκάρσιες τομές και μεγέθη που ταιριάζουν με μη τυποποιημένες αυλακώσεις πόρτας και θυρίδας.

Τεχνικές Προδιαγραφές

Ποσοτικοποιημένα Αποτελέσματα Απόδοσης & Οφέλη

• Η πυκνότητα ελαττωμάτων γκοφρέτας που συνδέεται με την εκπομπή αερίων της στεγανοποίησης μειώθηκε κατά 38 % μετά την αλλαγή.
• Το διάστημα σέρβις της στεγανοποίησης επεκτάθηκε από 3 μήνες σε 6 μήνες - βελτίωση 2 φορές.
• Ο χρόνος παράδοσης μειώθηκε από 8-10 εβδομάδες (εισαγόμενο) σε 2-3 εβδομάδες για επαναλαμβανόμενες παραγγελίες.
• Η σκληρότητα από παρτίδα σε παρτίδα διατηρήθηκε εντός ± 3 Shore A για σταθερή στεγανοποίηση.
• Η τοπική προμήθεια μείωσε το απόθεμα ασφαλείας και το συνολικό κόστος ιδιοκτησίας.

Τεχνικές Συχνές Ερωτήσεις

Ε: Τι σημαίνει χαμηλή εκπομπή αερίων για μια στεγανοποίηση ημιαγωγών;
Α: Σημαίνει ότι το ελαστομερές απελευθερώνει πολύ λίγη πτητική ύλη υπό κενό και θερμότητα, οπότε λιγότεροι ρύποι συμπυκνώνονται σε γκοφρέτες και επιφάνειες θαλάμου. Αναφέρουμε τιμές TML και CVCM ώστε να μπορείτε να πιστοποιήσετε το εξάρτημα.

Ε: Μπορεί η σιλικόνη να αντέξει τη χημεία πλάσματος χάραξης;
Α: Η σιλικόνη αποδίδει καλά σε πολλές θέσεις θαλάμου. Για τα πιο επιθετικά πλάσματα αλογόνων, συνιστούμε μια συγκεκριμένη σύνθεση ή μια εναλλακτική λύση περφθοροελαστομερούς. Μοιραστείτε το μείγμα αερίων σας και η Yunze θα προτείνει το καλύτερο υλικό.

Ε: Κατασκευάζετε αυτούς τους δακτυλίους O σε καθαρό δωμάτιο;
Α: Ναι. Οι στεγανοποιήσεις χαμηλής εκπομπής αερίων κατασκευάζονται και χειρίζονται σε ελεγχόμενο περιβάλλον για να περιοριστεί η μόλυνση από σωματίδια και ιόντα, με ιχνηλασιμότητα παρτίδας.

Μηχανική Συμβουλευτική & Αίτημα Δείγματος

Προστατέψτε την απόδοση των γκοφρέτων σας με μια στεγανοποίηση πιστοποιημένη για τον θάλαμό σας. Στείλτε τις διαστάσεις της αυλάκωσής σας, τη χημεία αερίου και την προδιαγραφή κενού στην Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd., και οι μηχανικοί μας θα προτείνουν μια σύνθεση χαμηλής εκπομπής αερίων και θα παρέχουν δείγματα για πιστοποίηση.