حلقات دائرية من السيليكون منخفضة إطلاق الغازات لغرف حفر أشباه الموصلات

نظرة عامة على الصناعة والتطبيق

تعتمد أدوات النقش والترسيب بالبلازما لأشباه الموصلات على إغلاق فراغي دقيق عند أبواب الغرف، ومداخل الغاز، والمنافذ، وتجميعات الأقطاب الكهربائية. في هذه البيئات، يتعرض مادة الختم للبلازما التفاعلية، وغازات الهالوجين، ودرجات الحرارة المرتفعة، والفراغ العميق. أي مركب عضوي متطاير ينبعث من المطاط - يُعرف بالغازات المنبعثة - يمكن أن يتكثف على الرقائق أو البصريات ويسبب عيوبًا تقلل الإنتاجية بشكل مباشر. لذلك، يعد اختيار الختم قرارًا هندسيًا حاسمًا، وليس شراء سلعة.

توفر شركة Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. حلقات O المصنوعة من السيليكون منخفضة الانبعاثات عالية النقاء وأختام مخصصة لمصنعي معدات أشباه الموصلات ومهندسي العمليات.

التحدي الهندسي ونقاط الألم

احتاج مدمج معدات مصنع الرقائق إلى استبدال الأختام المستوردة على باب غرفة النقش. أظهرت بيانات المجال أن فقدان الإنتاجية مرتبط بعمر الختم. تسببت الأجزاء الحالية في:

• تلوث الغازات المنبعثة: تكثفت السيلوكسانات المتطايرة على أسطح الغرفة والرقائق، مما رفع كثافة العيوب.
• الهجوم الكيميائي: انتفخت الأختام وتشققّت عند تعرضها لكيمياء البلازما القائمة على الفلور والكلور.
• فترات انتظار طويلة: استغرقت الأختام المستوردة منخفضة الانبعاثات 8-10 أسابيع، مما أبطأ صيانة الأدوات.
• جودة غير متسقة: أثر التباين في الصلابة والأبعاد من دفعة إلى أخرى على موثوقية الختم.

حل مخصص من Yunze Silicone واختيار المواد

طورت Yunze مركب سيليكون عالي النقاء بعد المعالجة، مصمم خصيصًا لتقليل إطلاق المواد المتطايرة، ثم قامت بالتحقق منه مقابل ملف تعريف البلازما والحرارة الخاص بالعميل.

• سيليكون معالج بالبلاتين مع معالجة لاحقة متعددة المراحل لإزالة المواد المتطايرة المتبقية.
• انبعاثات منخفضة، خسارة إجمالية للكتلة (TML) ومواد متطايرة قابلة للتكثيف (CVCM) مُتحكم بها.
• مجموعة ضغط أقل من 15٪ عند 200 درجة مئوية لمدة 22 ساعة لختم فراغي موثوق.
• قولبة ومعالجة في غرفة نظيفة للتحكم في تلوث الجسيمات والأيونات.
• مقاطع عرضية وأحجام مخصصة مطابقة لأخاديد الأبواب والمنافذ غير القياسية.

المواصفات الفنية

نتائج الأداء والفوائد المُقاسة

• انخفضت كثافة عيوب الرقائق المرتبطة بانبعاثات الختم بنسبة 38٪ بعد التغيير.
• تم تمديد فترة خدمة الختم من 3 أشهر إلى 6 أشهر - تحسن بمقدار 2x.
• تم خفض وقت التسليم من 8-10 أسابيع (مستورد) إلى 2-3 أسابيع للطلبات المتكررة.
• تم الاحتفاظ بتباين الصلابة من دفعة إلى أخرى في حدود ± 3 شور أ لختم متسق.
• قلل التوريد المحلي من مخزون الأمان والتكلفة الإجمالية للملكية.

أسئلة شائعة فنية

س: ماذا يعني انبعاث الغازات المنخفضة لختم أشباه الموصلات؟
ج: يعني أن المطاط يطلق كمية قليلة جدًا من المواد المتطايرة تحت الفراغ والحرارة، لذلك تتكثف ملوثات أقل على الرقائق وأسطح الغرفة. نحن نبلغ عن قيم TML و CVCM حتى تتمكن من تأهيل الجزء.

س: هل يمكن للسيليكون تحمل كيمياء النقش بالبلازما؟
ج: يؤدي السيليكون أداءً جيدًا في العديد من مواقع الغرف؛ بالنسبة لأكثر البلازما الهالوجينية عدوانية، ننصح بمركب معين أو خيار مطاط بيرفلورو مصاحب. شارك مزيج الغاز الخاص بك وستوصي Yunze بأفضل مادة.

س: هل تقومون بقَوْلَبَة حلقات O هذه في غرفة نظيفة؟
ج: نعم. يتم قَوْلَبَة الأختام منخفضة الانبعاثات ومعالجتها في بيئة خاضعة للرقابة للحد من تلوث الجسيمات والأيونات، مع إمكانية تتبع الدفعات.

استشارة هندسية وطلب عينة

احمِ إنتاجية رقائقك بختم مؤهل لغرفتك. أرسل أبعاد الأخدود الخاص بك، وكيمياء الغاز، ومواصفات الفراغ إلى شركة Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd.، وسيقترح مهندسونا مركبًا منخفض الانبعاثات ويوفرون عينات للتأهيل.