Anéis de vedação de silicone com baixa emissão de gases para câmaras de gravação de semicondutores

Análise geral da indústria e aplicações

As ferramentas de gravação e deposição de plasma de semicondutores dependem de vedação de vácuo precisa nas portas da câmara, entradas de gás, mirantes e conjuntos de eletrodos.Nestes ambientes, o material da vedação é exposto a plasmas reativos., gases halógenos, temperatura elevada e vácuo profundo.Qualquer composto orgânico volátil liberado pelo elastômero - conhecido como desgaseamento - pode condensar-se em wafers ou ópticas e causar defeitos que reduzem diretamente o rendimentoA selecção de selos é, portanto, uma decisão de engenharia crítica, não uma compra de mercadorias.

A Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. fornece O-rings de silicone de baixa emissão de gases e de alta pureza e vedações personalizadas para fabricantes de equipamentos de semicondutores e engenheiros de processo.

Desafio de Engenharia e Pontos de Dor

Um integrador de equipamento de fabricação de wafer foi necessário para substituir vedações importadas em uma porta de câmara de gravação.

• Contaminação por desgaseamento:Siloxanos voláteis condensados nas superfícies das câmaras e em wafers, aumentando a densidade de defeito.
• Ataque químico:Os selos inchados e rachados quando expostos a substâncias químicas plasmáticas à base de flúor e cloro.
• Tempos de entrega longos:As vedações de baixa emissão de gases importadas demoraram 8-10 semanas, retardando a manutenção da ferramenta.
• Qualidade inconsistente:A dureza de lote para lote e a variação das dimensões afetaram a fiabilidade do selo.

Solução personalizada de silicone Yunze e seleção de materiais

Yunze desenvolveu um composto de silicone de alta pureza pós-curado projetado para liberação mínima de volatilidade, e depois validou-o contra o perfil térmico e de plasma do cliente.

• Silicone com curado de platina com uma pós-curagem de vários estágios para afastar os resíduos voláteis.
• Baixa emissão de gases, perda de massa total controlada (TML) e materiais voláteis condensáveis recolhidos (CVCM).
• A compressão deve ser regulada a menos de 15% a 200 °C durante 22 horas para garantir uma vedação a vácuo fiável.
• Moldagem e manuseio de salas limpas para controlar a contaminação por partículas e iões.
• Seções transversais e tamanhos personalizados, combinados com ranhuras de porta e porta não-padrão.

Especificações técnicas

Resultados e benefícios do desempenho quantificados

• A densidade de defeito da wafer ligada à descarga de gás da vedação diminuiu 38 % após a mudança.
• O intervalo de serviço das focas foi alargado de 3 meses para 6 meses - uma melhoria de 2 vezes.
• O prazo de entrega foi reduzido de 8 a 10 semanas (importadas) para 2 a 3 semanas para encomendas repetidas.
• Variação de dureza de lote para lote mantida dentro de ± 3 Shore A para vedação consistente.
• O fornecimento local reduziu a reserva de estoque e o custo total de propriedade.

Perguntas frequentes técnicas

P: O que significa baixa emissão de gases para um selo de semicondutores?
Resposta: Significa que o elastómero libera muito pouco material volátil sob vácuo e calor, portanto menos contaminantes se condensam nas wafers e superfícies da câmara.Relatamos os valores TML e CVCM para que possa qualificar a peça.

P: O silicone pode sobreviver à química da gravura plasmática?
R: O silicone tem um bom desempenho em muitos locais de câmara; para os plasmas halogênicos mais agressivos, recomendamos um composto específico ou uma opção de perfluoroelastômeros de companhia.Compartilhe a sua mistura de gás e o Yunze irá recomendar o melhor material..

P: Você molda estes O-rings em salas limpas?
R: Sim. As vedações de baixa emissão de gases são moldadas e manuseadas num ambiente controlado para limitar a contaminação por partículas e iões, com rastreabilidade dos lotes.

Consultas de engenharia e pedido de amostras

Proteja a sua produção de wafer com um selo qualificado para a sua câmara.E os nossos engenheiros irão propor um composto de baixa emissão de gases e fornecer amostras para qualificação.