सेमीकंडक्टर नक़्क़ाशी कक्षों के लिए कम-आउटगैसिंग सिलिकॉन ओ-रिंग्स

उद्योग और अनुप्रयोग अवलोकन

सेमीकंडक्टर प्लाज्मा एचिंग और डिपोजिशन टूल चैंबर दरवाजों, गैस इनलेट, व्यूपोर्ट और इलेक्ट्रोड असेंबली पर सटीक वैक्यूम सीलिंग पर निर्भर करते हैं। इन वातावरणों में सील सामग्री प्रतिक्रियाशील प्लाज्मा, हैलोजन गैसों, ऊंचे तापमान और गहरे वैक्यूम के संपर्क में आती है। इलास्टोमर से निकलने वाले किसी भी वाष्पशील कार्बनिक यौगिक - जिसे आउटगैसिंग के रूप में जाना जाता है - वेफर्स या ऑप्टिक्स पर संघनित हो सकता है और ऐसे दोष पैदा कर सकता है जो सीधे उपज को कम करते हैं। इसलिए सील का चयन एक महत्वपूर्ण इंजीनियरिंग निर्णय है, न कि एक सामान्य खरीद।

डोंगगुआन युनज़े सिलिकॉन उत्पाद कं, लिमिटेड सेमीकंडक्टर उपकरण निर्माताओं और प्रक्रिया इंजीनियरों को कम-आउटगैसिंग, उच्च-शुद्धता सिलिकॉन ओ-रिंग और कस्टम सील की आपूर्ति करता है।

इंजीनियरिंग चुनौती और दर्द बिंदु

एक वेफर-फैब उपकरण इंटीग्रेटर को एचिंग चैंबर दरवाजे पर आयातित सील को बदलने की आवश्यकता थी। फील्ड डेटा से पता चला कि सील की उम्र के साथ उपज का नुकसान सहसंबद्ध था। वर्तमान भागों के कारण:

• आउटगैसिंग संदूषण:वाष्पशील सिलोक्सेन चैंबर सतहों और वेफर्स पर संघनित हो गए, जिससे दोष घनत्व बढ़ गया।
• रासायनिक हमला:फ्लोरीन और क्लोरीन-आधारित प्लाज्मा रसायन शास्त्र के संपर्क में आने पर सील सूज गई और फट गई।
• लंबा लीड टाइम:आयातित कम-आउटगैसिंग सील में 8-10 सप्ताह लगते थे, जिससे टूल रखरखाव धीमा हो गया।
• असंगत गुणवत्ता:बैच-टू-बैच कठोरता और आयामी भिन्नता ने सील की विश्वसनीयता को प्रभावित किया।

युनज़े सिलिकॉन कस्टम समाधान और सामग्री चयन

युनज़े ने न्यूनतम वाष्पशील रिलीज के लिए इंजीनियर एक पोस्ट-क्यूर, उच्च-शुद्धता सिलिकॉन यौगिक विकसित किया, फिर इसे ग्राहक के प्लाज्मा और थर्मल प्रोफाइल के मुकाबले मान्य किया।

• अवशिष्ट वाष्पशील को बाहर निकालने के लिए मल्टी-स्टेज पोस्ट-क्योर के साथ प्लैटिनम-क्यूर सिलिकॉन।
• कम आउटगैसिंग, नियंत्रित कुल द्रव्यमान हानि (TML) और एकत्र वाष्पशील संघनित सामग्री (CVCM)।
• विश्वसनीय वैक्यूम सीलिंग के लिए 200 डिग्री सेल्सियस पर 22 घंटे के लिए 15% से कम संपीड़न सेट।
• कण और आयनिक संदूषण को नियंत्रित करने के लिए क्लीन-रूम मोल्डिंग और हैंडलिंग।
• गैर-मानक दरवाजे और पोर्ट ग्रूव्स से मेल खाने वाले कस्टम क्रॉस-सेक्शन और आकार।

तकनीकी विनिर्देश

मात्रात्मक प्रदर्शन परिणाम और लाभ

• सील आउटगैसिंग से जुड़ी वेफर दोष घनत्व में परिवर्तन के बाद 38% की कमी आई।
• सील सेवा अंतराल को 3 महीने से बढ़ाकर 6 महीने कर दिया गया - 2x सुधार।
• लीड टाइम को 8-10 सप्ताह (आयातित) से घटाकर दोहराए जाने वाले ऑर्डर के लिए 2-3 सप्ताह कर दिया गया।
• बैच-टू-बैच कठोरता भिन्नता को लगातार सीलिंग के लिए ± 3 शोर ए के भीतर रखा गया।
• स्थानीय आपूर्ति ने इन्वेंट्री बफर और स्वामित्व की कुल लागत को कम कर दिया।

तकनीकी सामान्य प्रश्न

प्रश्न: सेमीकंडक्टर सील के लिए कम आउटगैसिंग का क्या मतलब है?
ए: इसका मतलब है कि इलास्टोमर वैक्यूम और गर्मी के तहत बहुत कम वाष्पशील सामग्री जारी करता है, इसलिए वेफर्स और चैंबर सतहों पर कम संदूषक संघनित होते हैं। हम TML और CVCM मानों की रिपोर्ट करते हैं ताकि आप भाग को योग्य बना सकें।

प्रश्न: क्या सिलिकॉन प्लाज्मा एचिंग रसायन शास्त्र का सामना कर सकता है?
ए: सिलिकॉन कई चैंबर स्थानों में अच्छा प्रदर्शन करता है; सबसे आक्रामक हैलोजन प्लाज्मा के लिए हम एक विशिष्ट यौगिक या एक साथी परफ्लूरोएलास्टोमर विकल्प की सलाह देते हैं। अपना गैस मिश्रण साझा करें और युनज़े सर्वोत्तम सामग्री की सिफारिश करेगा।

प्रश्न: क्या आप इन ओ-रिंगों को क्लीन-रूम में मोल्ड करते हैं?
ए: हाँ। कम-आउटगैसिंग सील को कण और आयनिक संदूषण को सीमित करने के लिए एक नियंत्रित वातावरण में मोल्ड और संभाला जाता है, जिसमें बैच ट्रेसिबिलिटी होती है।

इंजीनियरिंग परामर्श और नमूना अनुरोध

अपने चैंबर के लिए योग्य सील के साथ अपनी वेफर उपज की रक्षा करें। अपने ग्रूव आयाम, गैस रसायन शास्त्र और वैक्यूम विनिर्देश डोंगगुआन युनज़े सिलिकॉन उत्पाद कं, लिमिटेड को भेजें, और हमारे इंजीनियर एक कम-आउटगैसिंग यौगिक का प्रस्ताव देंगे और योग्यता के लिए नमूने प्रदान करेंगे।