O-ring in silicone a basso degassamento per camere di attacco di semiconduttori

Panoramica del settore e delle applicazioni

Gli strumenti di incisione e deposizione al plasma per semiconduttori si basano su un'accurata sigillatura sottovuoto su porte della camera, ingressi del gas, oblò e assemblaggi di elettrodi. In questi ambienti, il materiale di tenuta è esposto a plasmi reattivi, gas alogeni, temperature elevate e vuoto spinto. Qualsiasi composto organico volatile rilasciato dall'elastomero - noto come degasaggio - può condensare su wafer o ottiche e causare difetti che riducono direttamente la resa. La selezione della guarnizione è quindi una decisione ingegneristica critica, non un acquisto di commodity.

Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. fornisce O-ring in silicone a basso degasaggio e ad alta purezza e guarnizioni personalizzate a produttori di apparecchiature per semiconduttori e ingegneri di processo.

Sfida ingegneristica e punti dolenti

Un integratore di apparecchiature per wafer-fab aveva bisogno di sostituire guarnizioni importate su una porta di una camera di incisione. I dati sul campo hanno mostrato una perdita di resa correlata all'età della guarnizione. Le parti incumbent causavano:

• Contaminazione da degasaggio: silossani volatili condensati sulle superfici della camera e sui wafer, aumentando la densità dei difetti.
• Attacco chimico: le guarnizioni si gonfiavano e si crepavano se esposte a chimiche al plasma a base di fluoro e cloro.
• Lunghi tempi di consegna: le guarnizioni a basso degasaggio importate richiedevano 8-10 settimane, rallentando la manutenzione degli strumenti.
• Qualità incoerente: variazioni di durezza e dimensionali da lotto a lotto influivano sull'affidabilità della guarnizione.

Soluzione personalizzata e selezione dei materiali di Yunze Silicone

Yunze ha sviluppato un composto di silicone post-curato e ad alta purezza ingegnerizzato per un rilascio volatile minimo, quindi lo ha validato rispetto al profilo di plasma e termico del cliente.

• Silicone reticolato al platino con un post-trattamento multistadio per eliminare i volatili residui.
• Basso degasaggio, perdita di massa totale (TML) controllata e materiali condensabili volatili raccolti (CVCM).
• Set di compressione inferiore al 15% a 200 °C per 22 ore per una sigillatura sottovuoto affidabile.
• Stampaggio e manipolazione in camera bianca per controllare la contaminazione da particelle e ionica.
• Sezioni trasversali e dimensioni personalizzate abbinate a scanalature di porte e portelli non standard.

Specifiche tecniche

Risultati delle prestazioni quantificati e vantaggi

• La densità dei difetti dei wafer legata al degasaggio delle guarnizioni è diminuita del 38% dopo il cambio.
• L'intervallo di servizio della guarnizione è stato esteso da 3 mesi a 6 mesi - un miglioramento di 2 volte.
• Il tempo di consegna è stato ridotto da 8-10 settimane (importato) a 2-3 settimane per ordini ripetuti.
• La variazione di durezza da lotto a lotto è stata mantenuta entro ± 3 Shore A per una sigillatura costante.
• La fornitura locale ha ridotto il buffer di inventario e il costo totale di proprietà.

FAQ tecniche

D: Cosa significa basso degasaggio per una guarnizione per semiconduttori?
R: Significa che l'elastomero rilascia pochissimo materiale volatile sotto vuoto e calore, quindi meno contaminanti si condensano sui wafer e sulle superfici della camera. Riportiamo i valori TML e CVCM in modo che tu possa qualificare il pezzo.

D: Il silicone può resistere alla chimica dell'incisione al plasma?
R: Il silicone si comporta bene in molte posizioni della camera; per i plasmi alogeni più aggressivi, consigliamo un composto specifico o un'opzione perfluoroelastomero complementare. Condividi la tua miscela di gas e Yunze raccomanderà il materiale migliore.

D: Stampate questi O-ring in camera bianca?
R: Sì. Le guarnizioni a basso degasaggio vengono stampate e manipolate in un ambiente controllato per limitare la contaminazione da particelle e ionica, con tracciabilità del lotto.

Consulenza ingegneristica e richiesta di campioni

Proteggi la resa dei tuoi wafer con una guarnizione qualificata per la tua camera. Invia le dimensioni della tua scanalatura, la chimica del gas e le specifiche del vuoto a Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd., e i nostri ingegneri proporranno un composto a basso degasaggio e forniranno campioni per la qualifica.