حلقه های سیلیکونی کم خروجی برای اتاق های اچینگ نیمه هادی

مروری بر صنعت و کاربرد

ابزارهای حکاکی و رسوب‌دهی پلاسما در نیمه‌هادی‌ها به آب‌بندی دقیق خلاء در درب‌های محفظه، ورودی‌های گاز، پنجره‌های دید و مجموعه‌های الکترود متکی هستند. در این محیط‌ها، ماده آب‌بندی در معرض پلاسماهای واکنش‌پذیر، گازهای هالوژن، دمای بالا و خلاء عمیق قرار می‌گیرد. هر ترکیب آلی فرار آزاد شده توسط الاستومر - که به عنوان گاز زدایی شناخته می‌شود - می‌تواند روی ویفرها یا اپتیک‌ها متراکم شده و باعث ایجاد نقص‌هایی شود که مستقیماً بازده را کاهش می‌دهد. بنابراین انتخاب آب‌بند یک تصمیم مهندسی حیاتی است، نه یک خرید کالایی.

شرکت Dongguan Yunze Silicone Products، O-ring‌های سیلیکونی با گاز زدایی کم و خلوص بالا و آب‌بندهای سفارشی را به سازندگان تجهیزات نیمه‌هادی و مهندسان فرآیند عرضه می‌کند.

چالش مهندسی و نقاط درد

یکپارچه‌ساز تجهیزات ویفر فب نیاز به جایگزینی آب‌بندهای وارداتی روی درب محفظه حکاکی داشت. داده‌های میدانی نشان داد که کاهش بازده با سن آب‌بند مرتبط است. قطعات موجود باعث ایجاد موارد زیر می‌شدند:

• آلودگی ناشی از گاز زدایی: سیلیکون‌های فرار روی سطوح محفظه و ویفرها متراکم شده و باعث افزایش چگالی نقص می‌شدند.
• حمله شیمیایی: آب‌بندها هنگام قرار گرفتن در معرض شیمی‌های پلاسما مبتنی بر فلوئور و کلر متورم و ترک می‌خوردند.
• زمان تحویل طولانی: آب‌بندهای کم گاز زدایی وارداتی 8 تا 10 هفته طول می‌کشیدند و نگهداری ابزار را کند می‌کردند.
• کیفیت ناسازگار: تغییرات سختی و ابعادی از بچی به بچ دیگر بر قابلیت اطمینان آب‌بند تأثیر می‌گذاشت.

راه حل سفارشی و انتخاب مواد سیلیکونی Yunze

Yunze یک ترکیب سیلیکونی پس از پخت، با خلوص بالا را مهندسی کرد که برای حداقل انتشار مواد فرار طراحی شده بود، سپس آن را در برابر پروفیل پلاسما و حرارتی مشتری اعتبارسنجی کرد.

• سیلیکون پلاتینوم-پخت شده با پس از پخت چند مرحله‌ای برای حذف مواد فرار باقی‌مانده.
• گاز زدایی کم، کنترل شده از نظر کل جرم از دست رفته (TML) و مواد قابل تراکم فرار جمع‌آوری شده (CVCM).
• مجموعه فشاری کمتر از 15٪ در دمای 200 درجه سانتی‌گراد به مدت 22 ساعت برای آب‌بندی خلاء قابل اعتماد.
• قالب‌گیری و جابجایی در اتاق تمیز برای کنترل آلودگی ذرات و یونی.
• سطوح مقطع و اندازه‌های سفارشی مطابق با شیارهای درب و پورت غیر استاندارد.

مشخصات فنی

نتایج عملکرد کمی و مزایا

• چگالی نقص ویفر مرتبط با گاز زدایی آب‌بند پس از تعویض 38٪ کاهش یافت.
• فاصله زمانی سرویس آب‌بند از 3 ماه به 6 ماه افزایش یافت - بهبود 2 برابری.
• زمان تحویل از 8-10 هفته (وارداتی) به 2-3 هفته برای سفارشات تکراری کاهش یافت.
• تغییرات سختی از بچی به بچ دیگر در حدود ± 3 شور A برای آب‌بندی سازگار حفظ شد.
• تأمین محلی باعث کاهش موجودی بافر و هزینه کل مالکیت شد.

سوالات متداول فنی

س: کم گاز زدایی برای آب‌بند نیمه‌هادی به چه معناست؟
پاسخ: به این معنی است که الاستومر مقدار بسیار کمی ماده فرار را در خلاء و گرما آزاد می‌کند، بنابراین آلاینده‌های کمتری روی ویفرها و سطوح محفظه متراکم می‌شوند. ما مقادیر TML و CVCM را گزارش می‌کنیم تا بتوانید قطعه را واجد شرایط کنید.

س: آیا سیلیکون می‌تواند در برابر شیمی حکاکی پلاسما مقاومت کند؟
پاسخ: سیلیکون در بسیاری از مکان‌های محفظه عملکرد خوبی دارد؛ برای تهاجمی‌ترین پلاسماهای هالوژن، ما یک ترکیب خاص یا یک گزینه پرفلورو الاستومر همراه را توصیه می‌کنیم. ترکیب گاز خود را به اشتراک بگذارید و Yunze بهترین ماده را توصیه خواهد کرد.

س: آیا این O-ring‌ها را در اتاق تمیز قالب‌گیری می‌کنید؟
پاسخ: بله. آب‌بندهای کم گاز زدایی برای محدود کردن آلودگی ذرات و یونی در یک محیط کنترل شده قالب‌گیری و جابجا می‌شوند و قابلیت ردیابی بچ دارند.

مشاوره مهندسی و درخواست نمونه

بازده ویفر خود را با یک آب‌بند واجد شرایط برای محفظه خود محافظت کنید. ابعاد شیار، شیمی گاز و مشخصات خلاء خود را به شرکت Dongguan Yunze Silicone Products ارسال کنید و مهندسان ما یک ترکیب کم گاز زدایی را پیشنهاد داده و نمونه‌هایی را برای واجد شرایط سازی ارائه خواهند داد.