Δακτύλιοι σιλικόνης χαμηλής απαέρωσης για θαλάμους χάραξης ημιαγωγών

Επισκόπηση της βιομηχανίας και της εφαρμογής

Τα εργαλεία χαρακτικής και εναπόθεσης με ημιαγωγό πλάσμα βασίζονται σε ακριβή σφραγίδα κενού στις πόρτες του θαλάμου, τις εισόδους αερίου, τα θέατρα και τις συναθροίσεις ηλεκτροδίων.Σε αυτά τα περιβάλλοντα, το υλικό φράγματος εκτίθεται σε αντιδραστικά πλάσματα., αέρια αλογόνων, υψηλή θερμοκρασία και βαθύ κενό.Οποιαδήποτε πτητική οργανική ένωση που απελευθερώνεται από το ελαστομερές - γνωστή ως εξάντληση αερίων - μπορεί να συμπυκνωθεί σε πλακίδια ή οπτικά και να προκαλέσει ελαττώματα που μειώνουν άμεσα την απόδοσηΗ επιλογή των σφραγίδων είναι επομένως μια κρίσιμη μηχανική απόφαση, όχι μια αγορά εμπορευμάτων.

Η Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. προμηθεύει O-ring από σιλικόνη υψηλής καθαρότητας με χαμηλή εκπομπή αερίων και εξατομικευμένες σφραγίδες σε κατασκευαστές εξοπλισμού ημιαγωγών και μηχανικούς διεργασιών.

Προκλήσεις της Μηχανικής και σημεία πόνου

Ένα ενσωματωτικό εξοπλισμού πλακιδίων-φασών χρειάστηκε για την αντικατάσταση εισαγόμενων σφραγίδων σε μια πόρτα θαλάμου χαρακτικής.

• Καθαρισμός από αέρια:οι πτητικοί σιλοξανοί συμπυκνώνονται στις επιφάνειες των θαλάμων και στα πλακίδια, αυξάνοντας την πυκνότητα ελαττωμάτων.
• Χημική επίθεση:οι σφραγίδες πρησμένες και ραγισμένες όταν εκτίθενται σε χημικές ουσίες πλάσματος με βάση το φθόριο και το χλώριο.
• Μακροχρόνια προθεσμία:Οι εισαγόμενες σφραγίδες χαμηλής εκπομπής αερίων χρειάστηκαν 8-10 εβδομάδες, επιβραδύνοντας τη συντήρηση του εργαλείου.
• Ασύνετη ποιότητα:Η σκληρότητα από παρτίδα σε παρτίδα και οι διαστασιακές διαφορές επηρέασαν την αξιοπιστία της σφραγίδας.

Yunze Σιλικόνη Προσαρμοσμένη λύση & επιλογή υλικού

Ο Yunze ανέπτυξε μια μετά την εξάντληση, υψηλής καθαρότητας ένωση σιλικόνης που σχεδιάστηκε για ελάχιστη απελευθέρωση πτητικών, στη συνέχεια την επικύρωσε με το πλάσμα και το θερμικό προφίλ του πελάτη.

• Πλατινένια σιλικόνη με πολλαπλό στάδιο μετα-συντήρησης για την απομάκρυνση των υπολειμματικών πτητικών.
• Μικρές εκπομπές αερίων, ελεγχόμενη συνολική απώλεια μάζας (TML) και συλλεγόμενα πτητικά υλικά συμπύκνωσης (CVCM).
• Προσαρμογή συμπίεσης κάτω από 15% σε θερμοκρασία 200 °C για 22 ώρες για αξιόπιστη σφράγιση υπό κενό.
• Σχηματισμός και χειρισμός καθαρού δωματίου για τον έλεγχο της μόλυνσης από σωματίδια και ιόντα.
• Προσαρμοσμένες διατομές και μεγέθη που ταιριάζουν με μη τυποποιημένες αυλακώσεις πόρτας και πόρτας.

Τεχνικές προδιαγραφές

Κβαντικοποιημένα αποτελέσματα και οφέλη απόδοσης

• Η πυκνότητα ελαττωμάτων των πλακιδίων που συνδέεται με την εκπομπή αερίων από τις σφραγίδες μειώνεται κατά 38 % μετά την αλλαγή.
• Το χρονικό διάστημα υπηρεσίας των φώτιδων αυξήθηκε από 3 μήνες σε 6 μήνες - βελτίωση 2 φορές.
• Ο χρόνος παράδοσης μειώθηκε από 8-10 εβδομάδες (εισαγωγικές) σε 2-3 εβδομάδες για επαναλαμβανόμενες παραγγελίες.
• Η διαφορά σκληρότητας από παρτίδα σε παρτίδα διατηρείται εντός ± 3 Shore A για συνεπή σφράγιση.
• Η τοπική προμήθεια μείωσε το αποθεματικό και το συνολικό κόστος ιδιοκτησίας.

Τεχνικές ερωτήσεις

Ε: Τι σημαίνει χαμηλή εκπομπή αερίων για μια σφραγίδα ημιαγωγών;
Α: Αυτό σημαίνει ότι το ελαστομερές απελευθερώνει πολύ λίγο πτητικό υλικό κάτω από κενό και θερμότητα, έτσι λιγότεροι ρύποι συμπυκνώνται σε πλακίδια και επιφάνειες θαλάμου.Αναφέρουμε τις τιμές TML και CVCM ώστε να μπορείτε να χαρακτηρίσετε το μέρος.

Ε: Μπορεί η σιλικόνη να επιβιώσει από την χημεία της χαρακτικής πλάσματος;
Α: Η σιλικόνη λειτουργεί καλά σε πολλές τοποθεσίες θαλάμου. Για τα πιο επιθετικά αλογονικά πλάσματα συνιστούμε μια ειδική ένωση ή μια επιλογή συνοδευόμενου perfluoroelastomer.Μοιραστείτε το μείγμα αερίου σας και ο Γιούνζε θα σας συστήσει το καλύτερο υλικό..

Ε: Κάνετε το καλούπι καθαρού δωματίου σε αυτά τα O-ring;
Α: Ναι. Οι σφραγίδες χαμηλής εκπομπής αερίων σχηματίζονται και χειρίζονται σε ελεγχόμενο περιβάλλον για τον περιορισμό της μόλυνσης από σωματίδια και ιόντα, με ιχνηλασιμότητα παρτίδας.

Διαβούλευση μηχανικής και αίτηση δειγμάτων

Προστατέψτε την απόδοση των κυψελών σας με μια σφραγίδα κατάλληλη για το θάλαμό σας.Και οι μηχανικοί μας θα προτείνουν μια σύνθεση χαμηλής εκπομπής αερίων και θα παρέχουν δείγματα για την αξιολόγηση.