Cincin-O Silikon dengan Keluaran Gas Rendah untuk Ruang Etsa Semikonduktor

Ringkasan Industri & Aplikasi

Alat etching dan deposisi plasma semikonduktor bergantung pada penyegelan vakum yang tepat di pintu ruang, inlet gas, viewport dan perakitan elektroda.Dalam lingkungan ini bahan segel terkena plasma reaktif, gas halogen, suhu tinggi dan vakum dalam.Setiap senyawa organik yang mudah menguap yang dilepaskan oleh elastomer - yang dikenal sebagai outgassing - dapat mengembun pada wafer atau optik dan menyebabkan cacat yang secara langsung mengurangi hasilOleh karena itu, pemilihan segel adalah keputusan teknik yang penting, bukan pembelian komoditas.

Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. memasok O-ring silikon kemurnian tinggi dengan emisi rendah dan segel khusus kepada produsen peralatan semikonduktor dan insinyur proses.

Tantangan Teknik & Titik Sakit

Data lapangan menunjukkan kehilangan hasil berkorelasi dengan usia segel. Bagian yang ada menyebabkan:

• Kontaminasi gas keluar:siloxan volatil dikondensasi pada permukaan ruang dan wafer, meningkatkan kepadatan cacat.
• Serangan kimia:segel membengkak dan retak ketika terkena bahan kimia plasma berbasis fluor dan klorin.
• Waktu pengiriman yang panjang:impor low-outgassing segel memakan waktu 8-10 minggu, memperlambat pemeliharaan alat.
• Kualitas tidak konsisten:kekerasan batch-to-batch dan variasi dimensi mempengaruhi keandalan segel.

Yunze Silikon Solusi Khusus & Pilihan Bahan

Yunze mengembangkan senyawa silikon puritas tinggi yang telah dikeringkan untuk pelepasan volatil minimal, kemudian memvalidasikannya terhadap plasma dan profil termal pelanggan.

• Silikon platinum-harded dengan post-harding multi-stage untuk mengusir sisa volatil.
• Low outgassing, Total Mass Loss (TML) terkontrol dan Materi Kondensasi Volatil yang Dikumpulkan (CVCM).
• Kompresi diatur di bawah 15% pada 200 °C selama 22 jam untuk penyegelan vakum yang dapat diandalkan.
• Pembentukan dan penanganan kamar bersih untuk mengendalikan partikel dan kontaminasi ion.
• Potongan silang dan ukuran yang disesuaikan dengan alur pintu dan port non-standar.

Spesifikasi Teknis

Hasil dan Manfaat Kinerja yang Diukur

• Kapadatan cacat wafer yang terkait dengan pelepasan gas segel berkurang sebesar 38 % setelah beralih.
• Interval pelayanan segel diperpanjang dari 3 bulan menjadi 6 bulan - peningkatan 2 kali.
• Waktu pengiriman dikurangi dari 8-10 minggu (diimpor) menjadi 2-3 minggu untuk pesanan berulang.
• Variasi kekerasan batch-to-batch dijaga dalam ± 3 Shore A untuk penyegelan yang konsisten.
• Pasokan lokal mengurangi penyangga persediaan dan total biaya kepemilikan.

FAQ teknis

T: Apa artinya low outgassing untuk segel semikonduktor?
A: Ini berarti elastomer melepaskan bahan yang sangat sedikit mudah menguap di bawah vakum dan panas, sehingga lebih sedikit kontaminan mengembun pada wafer dan permukaan ruang.Kami melaporkan nilai TML dan CVCM sehingga Anda dapat memenuhi syarat bagian.

T: Bisakah silikon bertahan dalam kimia plasma etching?
A: Silikon bekerja dengan baik di banyak lokasi kamar; untuk plasma halogen yang paling agresif kami menyarankan senyawa tertentu atau pilihan perfluoroelastomer pendamping.Berbagi campuran gas Anda dan Yunze akan merekomendasikan bahan terbaik.

P: Apakah Anda membentuk O-ring ini di ruang bersih?
A: Ya, segel dengan emisi rendah dibentuk dan ditangani dalam lingkungan yang terkontrol untuk membatasi kontaminasi partikel dan ion, dengan traceability batch.

Konsultasi Teknik & Permintaan Sampel

Lindungi hasil wafer Anda dengan segel yang memenuhi syarat untuk ruang Anda kirimkan ukuran alur Anda, kimia gas dan spesifikasi vakum ke Dongguan Yunze Silikon Products Co, Ltd,dan insinyur kami akan mengusulkan senyawa low-outgassing dan memberikan sampel untuk kualifikasi.