সেমিকন্ডাক্টর এচিং চেম্বারের জন্য কম-আউটগ্যাসিং সিলিকন ও-রিং

শিল্প ও অ্যাপ্লিকেশন ওভারভিউ

সেমিকন্ডাক্টর প্লাজমা এচিং এবং ডিপোজিশন টুলগুলি চেম্বার দরজা, গ্যাস ইনলেট, ভিউপোর্ট এবং ইলেকট্রোড অ্যাসেম্বলিতে সুনির্দিষ্ট ভ্যাকুয়াম সিলিংয়ের উপর নির্ভর করে। এই পরিবেশে সিল উপাদানটি প্রতিক্রিয়াশীল প্লাজমা, হ্যালোজেন গ্যাস, উচ্চ তাপমাত্রা এবং গভীর ভ্যাকুয়ামের সংস্পর্শে আসে। ইলাস্টোমার থেকে নির্গত যেকোনো উদ্বায়ী জৈব যৌগ - যা আউটগ্যাসিং নামে পরিচিত - ওয়েফার বা অপটিক্সে ঘনীভূত হতে পারে এবং ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে যা সরাসরি ফলন হ্রাস করে। তাই সিল নির্বাচন একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রকৌশল সিদ্ধান্ত, একটি সাধারণ পণ্য ক্রয় নয়।

ডংগুয়ান ইউনজে সিলিকন প্রোডাক্টস কোং, লিমিটেড সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম নির্মাতা এবং প্রক্রিয়া প্রকৌশলীদের জন্য কম আউটগ্যাসিং, উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিলিকন ও-রিং এবং কাস্টম সিল সরবরাহ করে।

প্রকৌশল চ্যালেঞ্জ ও সমস্যা

একটি ওয়েফার-ফ্যাব সরঞ্জাম ইন্টিগ্রেটরকে একটি এচিং চেম্বার দরজার আমদানি করা সিল প্রতিস্থাপন করতে হয়েছিল। ফিল্ড ডেটা দেখিয়েছে যে ফলন হ্রাস সিলের বয়সের সাথে সম্পর্কিত। বর্তমান অংশগুলি সৃষ্টি করেছিল:

• আউটগ্যাসিং দূষণ: উদ্বায়ী সিলোক্সেন চেম্বারের পৃষ্ঠ এবং ওয়েফারে ঘনীভূত হয়েছিল, ত্রুটির ঘনত্ব বাড়িয়েছিল।
• রাসায়নিক আক্রমণ: ফ্লোরিন এবং ক্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমা রসায়নের সংস্পর্শে এলে সিল ফুলে গিয়েছিল এবং ফেটে গিয়েছিল।
• দীর্ঘ লিড টাইম: আমদানি করা কম আউটগ্যাসিং সিল ৮-১০ সপ্তাহ সময় নিয়েছিল, সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণে বিলম্ব ঘটিয়েছিল।
• অসামঞ্জস্যপূর্ণ গুণমান: ব্যাচ-টু-ব্যাচ কঠোরতা এবং মাত্রিক পরিবর্তন সিলের নির্ভরযোগ্যতাকে প্রভাবিত করেছিল।

ইউনজে সিলিকন কাস্টম সমাধান ও উপাদান নির্বাচন

ইউনজে একটি পোস্ট-কিউরড, উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিলিকন যৌগ তৈরি করেছে যা ন্যূনতম উদ্বায়ী মুক্তি জন্য প্রকৌশল করা হয়েছে, তারপর গ্রাহকের প্লাজমা এবং তাপীয় প্রোফাইলের বিরুদ্ধে এটি যাচাই করেছে।

• অবশিষ্ট উদ্বায়ী পদার্থ দূর করার জন্য মাল্টি-স্টেজ পোস্ট-কিউর সহ প্ল্যাটিনাম-কিউরড সিলিকন।
• কম আউটগ্যাসিং, নিয়ন্ত্রিত মোট ভর হ্রাস (TML) এবং সংগৃহীত উদ্বায়ী ঘনীভূত পদার্থ (CVCM)।
• ২০ ঘন্টা / ২০০ ডিগ্রি সেলসিয়াসে ১৫% এর নিচে কম্প্রেশন সেট নির্ভরযোগ্য ভ্যাকুয়াম সিলিংয়ের জন্য।
• কণা এবং আয়নিক দূষণ নিয়ন্ত্রণের জন্য ক্লিন-রুম ছাঁচনির্মাণ এবং হ্যান্ডলিং।
• কাস্টম ক্রস-সেকশন এবং আকারগুলি নন-স্ট্যান্ডার্ড দরজা এবং পোর্ট গ্রুভের সাথে মিলেছে।

প্রযুক্তিগত স্পেসিফিকেশন

পরিমাণগত কর্মক্ষমতা ফলাফল ও সুবিধা

• সিল আউটগ্যাসিংয়ের সাথে যুক্ত ওয়েফার ত্রুটির ঘনত্ব পরিবর্তন করার পরে ৩৮% হ্রাস পেয়েছে।
• সিল পরিষেবা ব্যবধান ৩ মাস থেকে ৬ মাসে প্রসারিত হয়েছে - ২x উন্নতি।
• লিড টাইম ৮-১০ সপ্তাহ (আমদানি করা) থেকে পুনরাবৃত্তি অর্ডারের জন্য ২-৩ সপ্তাহে কাটা হয়েছে।
• ব্যাচ-টু-ব্যাচ কঠোরতার ভিন্নতা সামঞ্জস্যপূর্ণ সিলিংয়ের জন্য ± ৩ শোর এ এর ​​মধ্যে রাখা হয়েছে।
• স্থানীয় সরবরাহ ইনভেন্টরি বাফার এবং মালিকানার মোট খরচ কমিয়েছে।

প্রযুক্তিগত প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী

প্রশ্ন: সেমিকন্ডাক্টর সিলের জন্য কম আউটগ্যাসিং মানে কি?
উত্তর: এর মানে হল যে ইলাস্টোমার ভ্যাকুয়াম এবং তাপের অধীনে খুব কম উদ্বায়ী পদার্থ নির্গত করে, তাই ওয়েফার এবং চেম্বারের পৃষ্ঠে কম দূষক ঘনীভূত হয়। আপনি অংশটি যোগ্য করতে পারেন তাই আমরা TML এবং CVCM মান রিপোর্ট করি।

প্রশ্ন: সিলিকন কি প্লাজমা এচিং রসায়নে টিকে থাকতে পারে?
উত্তর: সিলিকন অনেক চেম্বার অবস্থানে ভাল পারফর্ম করে; সবচেয়ে আক্রমনাত্মক হ্যালোজেন প্লাজমার জন্য আমরা একটি নির্দিষ্ট যৌগ বা একটি সহগামী পারফ্লুরোইলাস্টোমার বিকল্পের পরামর্শ দিই। আপনার গ্যাস মিশ্রণ শেয়ার করুন এবং ইউনজে সেরা উপাদান সুপারিশ করবে।

প্রশ্ন: আপনি কি এই ও-রিংগুলি ক্লিন-রুম ছাঁচনির্মাণ করেন?
উত্তর: হ্যাঁ। কণা এবং আয়নিক দূষণ সীমিত করার জন্য কম-আউটগ্যাসিং সিলগুলি একটি নিয়ন্ত্রিত পরিবেশে ছাঁচনির্মাণ এবং পরিচালনা করা হয়, ব্যাচ ট্রেসেবিলিটি সহ।

প্রকৌশল পরামর্শ ও নমুনা অনুরোধ

আপনার চেম্বারের জন্য যোগ্য একটি সিল দিয়ে আপনার ওয়েফার ফলন রক্ষা করুন। আপনার গ্রুভ মাত্রা, গ্যাস রসায়ন এবং ভ্যাকুয়াম স্পেসিফিকেশন ডংগুয়ান ইউনজে সিলিকন প্রোডাক্টস কোং, লিমিটেড-এ পাঠান, এবং আমাদের প্রকৌশলীরা একটি কম আউটগ্যাসিং যৌগ প্রস্তাব করবে এবং যোগ্যতার জন্য নমুনা সরবরাহ করবে।