Siliconen O-ringen met weinig ontgassing voor halfgeleideretskamers

Overzicht van de industrie en de toepassingen

Halvegeleiderplasma-etsen- en afzettingstools zijn afhankelijk van nauwkeurig vacuümverzegelen van kamerdeuren, gasinlaat, uitkijkplekken en elektroden.In deze omgevingen wordt het afdichtingsmateriaal blootgesteld aan reactief plasma., halogeengassen, verhoogde temperatuur en diep vacuüm.Elke vluchtige organische verbinding die door de elastomeer vrijkomt - bekend als uitgassing - kan op wafers of optica condenseren en gebreken veroorzaken die de opbrengst rechtstreeks verminderenDe selectie van zeehonden is daarom een cruciale ingenieursbeslissing, niet een aankoop van een grondstof.

Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. levert siliconen O-ringen met een lage uitstoot van gassen en op maat gemaakte afdichtingen aan fabrikanten van halfgeleiderapparatuur en procesingenieurs.

Ingenieursproblemen en pijnpunten

Een waferfab-apparatuurintegrator was nodig om geïmporteerde afdichtingen op een etseringskamerdeur te vervangen.

• Verontreiniging door uitgassing:vluchtige siloxanen gecondenseerd op kameroppervlakken en wafers, waardoor de defectdichtheid toeneemt.
• Chemische aanval:de afdichtingen zijn opgezwollen en gebarsten bij blootstelling aan fluor- en chloorgebaseerde plasmakemicaliën.
• Lange doorlooptijden:De invoer van laag uitgastende afdichtingen duurde 8-10 weken, wat het onderhoud van het gereedschap vertraagde.
• Onvoldoende kwaliteit:de hardheid van de partij tot de partij en de afmetingsverschillen hebben invloed gehad op de betrouwbaarheid van de zegel.

Yunze siliconen op maat gemaakt oplossing & materiaal selectie

Yunze ontwikkelde een post-geharde, hoogzuivere siliconenverbinding die is ontworpen voor minimale vluchtige afgifte en vervolgens werd gevalideerd tegen het plasma- en thermisch profiel van de klant.

• Platina-gehard siliconen met een multi-stage post-harden om residuele vluchtige stoffen weg te drijven.
• Een laag uitgassingsniveau, gecontroleerd totaalmassaverlies (TML) en verzamelde vluchtige condensatieve materialen (CVCM).
• Compressie ingesteld op minder dan 15% bij 200 °C gedurende 22 uur voor een betrouwbare vacuümverzegeling.
• Stempelvorming en behandeling in de schoonruimte om deeltjes- en ionverontreiniging te beheersen.
• Persoonlijke dwarsdoorsneden en afmetingen, afgestemd op niet-standaard deur- en poortgroef.

Technische specificaties

Kwantificeerde prestatieresultaten en -voordelen

• De waferdefectdichtheid is na de overstap met 38 % verminderd.
• De dienstinterval van de zeehonden is verlengd van 3 maanden tot 6 maanden - een tweevoudige verbetering.
• De doorlooptijd is verkort van 8-10 weken (geïmporteerd) naar 2-3 weken voor herhaalde bestellingen.
• De hardheidsvariatie van partij tot partij moet binnen ± 3 Shore A worden gehouden voor een consistente afdichting.
• Lokale levering verminderde de voorraadbuffer en de totale eigendomswaarde.

Technische FAQ's

V: Wat betekent een lage uitgassing voor een halfgeleiderdicht?
A: Het betekent dat de elastomeer weinig vluchtig materiaal vrijmaakt onder vacuüm en hitte, dus minder verontreinigingen condenseren op wafers en kameroppervlakken.Wij rapporteren TML en CVCM waarden zodat u het onderdeel kunt kwalificeren.

V: Kan siliconen de plasma-etsen chemie overleven?
A: Silikon presteert goed op veel kamerlocaties; voor de meest agressieve halogeenplasma's raden we een specifieke verbinding of een begeleidende perfluoroelastomeroptie aan.Deel je gasmengsel en Yunze zal het beste materiaal aanbevelen..

Vraag: Moest u deze O-ringen in de cleanroom?
A: Ja, de afdichtingen met een lage uitstoot worden gevormd en behandeld in een gecontroleerde omgeving om de verontreiniging door deeltjes en ionen te beperken, met een traceerbaarheid van de batch.

Ingenieursraadpleging en steekproefverzoek

Bescherm uw wafers met een afdichting die geschikt is voor uw kamer.En onze ingenieurs zullen een laag uitgassen verbinding voorstellen en monsters leveren voor kwalificatie.