Silikonowe pierścienie uszczelniające o niskim stopniu odgazowania do komór do wytrawiania półprzewodników

Przegląd branży i zastosowań

Narzędzia do trawienia i osadzania plazmowego w produkcji półprzewodników wymagają precyzyjnego uszczelnienia próżniowego przy drzwiach komory, wlotach gazu, wizjerach i zespołach elektrod. W tych środowiskach materiał uszczelniający jest narażony na reaktywne plazmy, gazy halogenowe, podwyższoną temperaturę i głęboką próżnię. Każdy lotny związek organiczny uwalniany przez elastomer – znany jako odgazowanie – może skraplać się na płytkach lub optyce i powodować defekty, które bezpośrednio obniżają uzysk. Wybór uszczelnienia jest zatem kluczową decyzją inżynieryjną, a nie zakupem towaru.

Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd. dostarcza silikonowe O-ringi o niskim odgazowaniu i wysokiej czystości oraz niestandardowe uszczelnienia dla producentów sprzętu półprzewodnikowego i inżynierów procesowych.

Wyzwanie inżynieryjne i problemy

Integrator sprzętu do produkcji płytek potrzebował wymiany importowanych uszczelnień na drzwiach komory trawienia. Dane terenowe wykazały, że utrata uzysku koreluje z wiekiem uszczelnienia. Dotychczasowe części powodowały:

• Zanieczyszczenie odgazowaniem: lotne siloksany skraplały się na powierzchniach komory i płytkach, zwiększając gęstość defektów.
• Atak chemiczny: uszczelnienia puchły i pękały pod wpływem chemii plazmowej opartej na fluorkach i chlorowcach.
• Długie czasy realizacji: importowane uszczelnienia o niskim odgazowaniu zajmowały 8-10 tygodni, spowalniając konserwację narzędzi.
• Niespójna jakość: zmienność twardości i wymiarów między partiami wpływała na niezawodność uszczelnienia.

Niestandardowe rozwiązanie i dobór materiału Yunze Silicone

Firma Yunze opracowała utwardzony wtórnie, wysokiej czystości związek silikonowy zaprojektowany z myślą o minimalnym uwalnianiu lotnych substancji, a następnie zweryfikowała go pod kątem profilu plazmowego i termicznego klienta.

• Silikon utwardzany platyną z wieloetapowym utwardzaniem wtórnym w celu usunięcia pozostałych lotnych substancji.
• Niskie odgazowanie, kontrolowana całkowita masa utracona (TML) i zebrane lotne materiały kondensujące (CVCM).
• Odkształcenie sprężyste poniżej 15% w temperaturze 200°C przez 22 godziny dla niezawodnego uszczelnienia próżniowego.
• Formowanie i obsługa w warunkach czystego pomieszczenia w celu kontrolowania zanieczyszczenia cząstkami i jonami.
• Niestandardowe przekroje i rozmiary dopasowane do niestandardowych rowków drzwi i portów.

Specyfikacje techniczne

Skwantyfikowane wyniki i korzyści

• Gęstość defektów płytek związana z odgazowaniem uszczelnienia zmniejszona o 38% po wymianie.
• Interwał serwisowy uszczelnienia wydłużony z 3 miesięcy do 6 miesięcy – poprawa 2x.
• Czas realizacji skrócony z 8-10 tygodni (import) do 2-3 tygodni dla powtarzalnych zamówień.
• Zmienność twardości między partiami utrzymana w granicach ± 3 Shore A dla spójnego uszczelnienia.
• Lokalne dostawy zmniejszyły bufor zapasów i całkowity koszt posiadania.

Często zadawane pytania techniczne

P: Co oznacza niskie odgazowanie dla uszczelnienia półprzewodnikowego?
O: Oznacza to, że elastomer uwalnia bardzo mało lotnych substancji pod wpływem próżni i ciepła, dzięki czemu mniej zanieczyszczeń skrapla się na płytkach i powierzchniach komory. Podajemy wartości TML i CVCM, aby można było zakwalifikować część.

P: Czy silikon może przetrwać chemię trawienia plazmowego?
O: Silikon dobrze sprawdza się w wielu miejscach komory; w przypadku najbardziej agresywnych plazm halogenowych zalecamy specjalny związek lub opcję perfluoroelastomeru. Podaj swoją mieszankę gazów, a Yunze poleci najlepszy materiał.

P: Czy formujecie te O-ringi w czystym pomieszczeniu?
O: Tak. Uszczelnienia o niskim odgazowaniu są formowane i obsługiwane w kontrolowanym środowisku, aby ograniczyć zanieczyszczenie cząstkami i jonami, z możliwością śledzenia partii.

Konsultacje inżynieryjne i prośba o próbkę

Chroń swój uzysk płytek za pomocą uszczelnienia zakwalifikowanego do Twojej komory. Wyślij wymiary rowków, chemię gazów i specyfikację próżniową do Dongguan Yunze Silicone Products Co., Ltd., a nasi inżynierowie zaproponują związek o niskim odgazowaniu i dostarczą próbki do kwalifikacji.